光刻机巨头一季度利润暴降40%，公司CTO：中国不会产生ASML的竞争对手｜硅基世界

“预计公司把产能扩大到年产90台低数值孔径EUV，600台DUV，以及（中期达到）20台高数值孔径EUV。”

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